Kw-4a勻膠機是在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。
從其(qi)原(yuan)理來說(shuo),可以看出(chu)選購Kw-4a勻膠機需要注意的(de)幾個細(xi)節:
旋轉速度
轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速的(de)快慢和(he)控制精度直接(jie)關系到旋涂層(ceng)的(de)厚度控制和(he)膜(mo)層(ceng)均勻性(xing)。如果標(biao)(biao)示(shi)的(de)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速和(he)電機(ji)的(de)實(shi)際轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速誤差很大(da),對于要(yao)求精密涂覆(fu)的(de)科研(yan)人員來說是無法(fa)獲得準(zhun)確(que)的(de)實(shi)驗數據的(de)。國產的(de)某(mou)些(xie)勻膠機(ji)只能(neng)提供(gong)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速范圍,并(bing)不能(neng)精確(que)標(biao)(biao)定實(shi)時的(de)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速。進口的(de)勻膠機(ji)雖然(ran)大(da)部分能(neng)標(biao)(biao)定轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速,但是大(da)部分轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速精度沒有國際標(biao)(biao)準(zhun)認(ren)定。建(jian)議(yi)購(gou)買轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速控制方面有國際認(ren)定標(biao)(biao)準(zhun)的(de),比如:美(mei)國NIST標(biao)(biao)準(zhun)等(deng)。
真空吸附系(xi)統的構造
真(zhen)空(kong)泵一定要無油的(de),壓力標定準確(que),國(guo)(guo)內(nei)生(sheng)產的(de)無油真(zhen)空(kong)泵實在不(bu)(bu)敢恭維。因為任何的(de)油污(wu)都(dou)可能堵塞真(zhen)空(kong)管(guan)道,如果(guo)真(zhen)空(kong)吸(xi)附(fu)力降(jiang)低,會導致基片(pian)吸(xi)附(fu)不(bu)(bu)住而產生(sheng)“飛片(pian)”的(de)情況(kuang),還會讓滴(di)膠液不(bu)(bu)慎進入真(zhen)空(kong)管(guan)道系統造(zao)成*堵塞。用過國(guo)(guo)產勻膠機(ji)的(de)客戶常常會關(guan)心怎么清洗的(de)問題(ti),這一點許(xu)多(duo)國(guo)(guo)外的(de)勻膠機(ji)做得不(bu)(bu)錯(cuo),他們有通過聯(lian)動機(ji)制,如果(guo)真(zhen)空(kong)吸(xi)附(fu)力不(bu)(bu)夠的(de)時候,不(bu)(bu)會開始旋轉。
材質的選(xuan)擇
對(dui)于(yu)半導(dao)(dao)體化(hua)工(gong)行業的應用(yong)來(lai)說(shuo),材(cai)質的選擇尤(you)為(wei)關鍵(jian),大部(bu)分勻膠機采用(yong)的是不(bu)銹鋼或者普通塑(su)(su)料材(cai)質,因(yin)為(wei)這(zhe)(zhe)種(zhong)(zhong)材(cai)質的成本很低,不(bu)銹鋼的對(dui)于(yu)各類化(hua)工(gong)膠液(ye)的抗腐蝕性不(bu)太好(hao),塑(su)(su)料對(dui)于(yu)較高(gao)(gao)溫度和壓力下(xia)易(yi)產生變(bian)形。如(ru)果(guo)這(zhe)(zhe)種(zhong)(zhong)變(bian)形引起托(tuo)盤的位置失(shi)去(qu)水平的話,將會導(dao)(dao)致旋涂時(shi),時(shi)高(gao)(gao)時(shi)低的顛簸狀(zhuang)態。自(zi)然無法得到好(hao)的旋涂效果(guo)。例如(ru)美(mei)國等型號都是采用(yong)天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟(fu)乙(yi)烯(特氟(fu)隆(long),PTFE)材(cai)質。這(zhe)(zhe)兩種(zhong)(zhong)材(cai)質具備綠色環保、節約資源(yuan)、重量輕、強度大、抗沖(chong)擊性能好(hao)、堅(jian)固耐(nai)用(yong)、花紋自(zi)然、光澤度好(hao)等優點(dian)。