中國科學院(yuan)微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂儀(yi)/涂膠機

產品簡介 

我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和(he)KW-5型。 

產品主要特點 

1、開關電流調(diao)速(su)，穩(wen)定(ding)性能更好，轉速(su)調(diao)節以(yi)數(shu)字顯示為準。 

2、轉速在500～8000轉／分范圍內非(fei)常(chang)穩定。   

3、采用(yong)雙轉(zhuan)速(su)(su)。在(zai)啟動(dong)之后，先以低速(su)(su)運(yun)(yun)轉(zhuan)，使膠攤開，然后自動(dong)轉(zhuan)換到高速(su)(su)運(yun)(yun)轉(zhuan)。兩種轉(zhuan)速(su)(su)及(ji)相應的時間(jian)分(fen)(fen)別可調(diao)，時間(jian)分(fen)(fen)別控制在(zai)1～18秒和3秒～1分(fen)(fen)鐘。 

4、具有定時功能。  

5、測(ce)速(su)采用光(guang)電(dian)的辦法，產生光(guang)電(dian)脈沖(chong)，由晶體分頻(pin)測(ce)速(su)準確性高。  

6、"吸片"采用電磁閥控制氣(qi)路，一(yi)個(ge)氣(qi)泵(beng)可同時帶幾臺勻膠機(ji)工(gong)(gong)作，適合(he)流水(shui)線的工(gong)(gong)藝(yi)，提高了效率。   

7、在安裝結構(gou)上，采(cai)取(qu)了(le)減振(zhen)措施，保證(zheng)了(le)在運轉時(shi)噪(zao)音低。 

性能指標：