更新時間：2023-11-12
中國(guo)科學院微電子研究所生(sheng)產的(de)KW-4A/KW-5型(xing)勻膠(jiao)機適(shi)應于半(ban)導體硅片(pian)，載(zai)玻片(pian)，晶片(pian)，基片(pian)，ITO導電玻璃(li)等工藝，制(zhi)版的(de)表面涂覆。該(gai)產品具有轉速穩定和(he)(he)(he)啟動迅速等優點，并能保(bao)證半(ban)導體材(cai)料中涂膠(jiao)厚(hou)度的(de)一(yi)致性和(he)(he)(he)均勻性。通常配真空(kong)泵一(yi)起使用。目前的(de)型(xing)號有KW-4A型(xing)和(he)(he)(he)KW-5型(xing)。
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 生物產業,電子,航天 |
中國科學院微(wei)電子研究所生產的(de)KW-4A/KW-5型(xing)(xing)勻膠機適應(ying)于半導體(ti)硅片，載玻(bo)片，晶片，基片，ITO導電玻(bo)璃等工(gong)藝(yi)，制版的(de)表面涂(tu)(tu)覆。該(gai)產品(pin)具有(you)轉速穩定(ding)和啟(qi)動(dong)迅速等優點，并能保證半導體(ti)材(cai)料中涂(tu)(tu)膠厚度的(de)一致(zhi)性和均(jun)勻性。通常配真空泵一起使用。目前的(de)型(xing)(xing)號有(you)KW-4A型(xing)(xing)和KW-5型(xing)(xing)。
技術參數及要求：變頻調速
基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）
轉速：500-5000 轉/分
轉速穩定性：±1%
旋涂均勻性：±5％
旋涂工藝階段：2 段
旋涂時間：Ⅰ速0~18S；Ⅱ速0~60S
整機尺寸（長寬高）：425 mm×500 mm×300 mm
裸機尺寸（長寬高）：425mm×500mm×190mm
電機功率：180W
適應材(cai)(cai)料(liao)：硅片(pian)、玻(bo)璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各(ge)種材(cai)(cai)料(liao)
